『如果章节错误，点此举报』陈默站在原地，一动不动。
他低头看着那张图纸。看了很久。
然后从贴身的棉袄内兜里，摸出一个油纸包。
油纸发黄发脆，边角磨出了毛边。
打开，里面是一本三十二开的硬皮笔记本。
翻开硬皮封面，扉页上用钢笔写着四个字：校准手记。
字迹工整，但有几处墨水洇开了。
不是水渍，是汗。
“我师傅走之前，把这个给我的。”
陈默的手在抖。
“这台机器每一根导轨的直线度偏差。”
“每一个蜗轮齿的实际齿距。”
“主光路每个透镜组的最佳工作温度……”
“全在这里面。”
他把笔记本递到林希手上。
“三百九十五个参数。”
“他量了三年。”
陈默吸了一下鼻子。
“他说，'留着，总有一天会有人来修它。'”
林希接过笔记本，翻开第一页。
密密麻麻的数字，用铅笔一笔一划写成。
每个数据后面都标注了测量日期、环境温度和湿度。
有些页面的边角被反复翻折，纸张已经起了毛。
直播间安静了几秒。
然后弹幕开始滚动。
【三百九十五个参数，量了三年。这不是笔记本，这是这台机器的体检报告。】
【师傅熬瞎了眼睛没解决的问题，徒弟守了三年等来了能解决的人。】
【“总有一天会有人来修它”，，这句话我要记一辈子。】
【我现在就一个要求：把这台机器救活！】
林希合上笔记本。
“陈师傅。”
“这些参数，正好是光栅尺补偿算法的输入数据。”
“你师傅花三年量的东西，今天全用得上。”
陈默的膝盖软了一下。
他扶住机器底座，把脸别过去。
肩膀在抖。
周维民站在门口，喉头滚了两下，扭过头去看天花板。
江俊走上前，轻轻拍了拍陈默的后背。没说话。
他也是长光所出来的人。
有些东西不用说。
---
改造从第二天早上开始。
江俊带着两名红星技术员。
把光栅尺和伺服电机拆箱。
陈默在旁边看着那两条银白色的光栅尺，眼睛一眨不眨。
“一微米？”
“一微米。”
江俊拧紧固定螺栓，
“红星跟长光所联合中心的产品。”
陈默没再问。
他蹲下去，开始拆工作台侧面的蜗轮箱盖。
扳手在他手里转得飞快。
每颗螺栓拧到什么位置松手，不用看，全凭手感。
这台机器的每一颗螺丝，他都认识。
光栅尺安装到位后。
江俊接通数控板电源。
屏幕上跳出一串位置读数。
“X轴零位标定。”
“陈师傅。”
“你那本笔记上。”
“X轴导轨在行程中点的直线度偏差是多少？”
陈默连翻都没翻。
“0.8微米，偏左。”
江俊敲入补偿值。
伺服电机嗡了一声，工作台微微平移。
屏幕上的读数跳了一下，归零。
“Y轴呢？”
“1.2微米，偏下。”
“行程末端有个0.3微米的回程间隙，要单独补。”
三百九十五个参数。
陈默一个一个报，江俊一个一个录。
没有人翻笔记本。
全在陈默脑子里。
三年，一百八十六次保养。
每一次保养都要重新测量、重新记录。
数据早就刻进骨头里了。
直播间弹幕滚动：
【这人是活的数据库啊。】
【三年不是白守的，他把整台机器背下来了。】
【人形激光干涉仪，比机器还精密。】
下午三点，全部补偿参数录入完毕。
江俊做最后一项测试：
让工作台在全行程范围内往返运动。
光栅尺实时采集位置数据。
屏幕上，一条绿色的曲线缓缓展开。
平直。
偶尔有微小的波动，但伺服电机在零点几秒内就把它拉回来。
“全行程定位精度，”
江俊盯着数据，声音有点发紧，
“正负3微米。”
陈默靠在机器旁边，慢慢滑坐到地上。
他没哭。
他笑了。
笑着笑着，把脸埋进膝盖里。
---
光刻机活了。
但活过来只是第一关。
三天后，第一批试制硅片进入湿法刻蚀环节。
刻蚀槽是陈默用不锈钢焊的，简陋但干净。
酸液配方按照教科书上的标准比例调配。
第一片硅片放进去.
计时，取出，纯水冲洗，推到显微镜下。
江俊看了一眼，脸色变了。
“侧蚀太严重。”
他让开目镜，林希凑上去看。
5微米的线条，被酸液从两侧啃进去将近2微米。
剩下的线宽不到1微米，有些地方已经断了。
换配方，提高酸液浓度。
第二片，断线更多。
降低浓度，缩短时间。
第三片，沟槽底部没刻透。
连续三个通宵。
十七种配方。
没有一片合格。
第四天凌晨，刻蚀车间里弥漫着酸雾的味道。
陈默靠在墙角打盹，江俊的眼睛布满血丝。
林希坐在角落，闭上眼睛。
脑海里，直播间的画面亮了起来。
他把问题原原本本地说了一遍。
弹幕沉默了十几秒。
然后一个ID冒了出来：【材料狗不睡觉】。
【别用纯HF。】
【现在的光刻胶耐酸性差，纯氢氟酸刻蚀速率太快，根本控不住侧向钻蚀。】
紧接着，第二条弹幕：
【加NH4F做缓冲剂。氟化铵和氢氟酸的摩尔比6:1，槽液温度锁死35度。这个配方叫BOE，缓冲氧化物刻蚀液。】
第三条：
【关键点：35度恒温。温度每波动1度，刻蚀速率变化8%。你们没有恒温槽的话，用水浴锅套着不锈钢槽，温度计插在水浴里，人工盯着。】
第四条，另一个ID【半导体搬砖人】：
【NH4F这东西你们1983年应该能搞到，化工厂有。纯度不用太高，分析纯就够。】
弹幕区停了一秒。
然后齐刷刷一排：
【大佬！】
【材料狗永远不睡觉，但永远能救命！】
【六比一！记住了！考试要考！】
林希睁开眼。
“陈师傅。”
“化工库房里有没有氟化铵？”